装备控制系统中的工艺控制、物料传输、过程调度、通信管理、优化控制、故障检测等若干关键技术

　　n研发符合SEMI国际标准的集束型IC装备控制系统开发平台，为IC装备提供开放式、模块化的控制系统解决方案。

　　工业控制网络与系统研究室面向工业自动化与信息化需求，主要从事工业信息技术的共性基础理论和应用技术研究。在传感器网络、片上系统、智能测量、安全控制、IC装备控制、智能电网领域取得丰硕成果。2002年和2009年，“现场总线分布控制系统开发及应用”及“工业现场总线核心芯片、互操作技术及集成控制系统开发”项目分别获得国家科技进步二等奖。牵头制定的我国具有自主知识产权的工业以太网EPA、工业无线WIA-PA标准，被国际电工九游体育,九游体育股份有限公司,九游体育官方网站,九游Sports委员会IEC接收成为国际标准。是中国科学院“工业信息技术重点实验室”、辽宁省“工业通信与控制系统重点实验室”和“工业物联网重点实验室”的依托单位。与美国、英国、法国、德国、新西兰、澳大利亚、香港等国家和地区的大学、研究所和公司建立了密切的学术交流和长期性合作关系。近5年来，承担了国家自然科学基金、国家科技支撑计划、中科院知识创新工程重大项目、院地合作项目、企业委托项目等，发表学术论文400余篇，其中有100余篇被EI和SCI收录。